各研究团队：

我院购置的纳米三维轮廓仪、四探针检测仪、全自动离子减薄仪及精研一体机，已完成技术验收，即日起试运行。

Contour X200纳米三维表面轮廓仪是多功能的桌上光学表面分析系统，可以进行精密、快速、3D表面测量，可用于微小光学元件表面面形、表面粗糙度、和台阶高度及曲率半径的校准和分析。垂直分辨率≤0.01 nm，台阶高度误差≤0.75%。

4D 280SI四探针测量仪可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻和方块电阻。测量尺寸为100-200 mm直径圆片，测量范围为0.001欧姆/平方至800000欧姆/平方。

EM RES102全自动离子减薄仪可对样品进行离子减薄和离子束抛光，以去除机械抛光的表面应力涂抹层，获得真实且平整的样品内部信息，以适合于扫描电镜观察、原位元素分析及EBSD分析。最大样品尺寸直径25 mm，高度12 mm。

EM TXP精研一体机用于样品的机械预加工，配备有一系列工具和一体化显微观察系统，可对样品进行铣削、切割、修块、研磨、抛光及冲钻等加工，并可实时显微观察。

欢迎有测试需求的科研院所师生及榆林企业用户参与测试。

纳米三位轮廓仪联系人：梁嘉乐18165127633

邮箱：liangjl@dnlyl.ac.cn

四探针检测仪联系人：肖田田18821618663

邮箱：xiaott@dnlyl.ac.cn

全自动离子减薄仪、精研一体机联系人：曹元甲13571214011

邮箱：caoyuanjia612@dnlyl.ac.cn